催化燃烧设备的工艺流程设计包括三个阶段，分别为预处理、吸附操作、脱附与催化燃烧。

1、预处理

对于有机废气，人们应首先开展水喷淋，去除废气内部的杂尘、可溶性有机物。喷淋后，气体内部具有大量水分和少量粉尘，为避免水分与粉尘影响活性炭吸附床的有效运行，人们需要在处理时利用高效率的过滤器进行过滤。

2、吸附操作

经过预处理的有机废气，在风机的作用下引入吸附床，将其均匀地分布在活性炭表面。依据分子间的范德华力，活性炭会将有机废气吸附在表面，这一过程耗时较少，但时间越长，吸附越彻底。二者之间不会发生较大的化学反应，而有机废气却达到较高的净化效果。经过净化后的洁净废气可以达到环保部门规定的污染物排放标准。此外在风机的作用下，可以达到离地15m高空排放的标准。每套废气净化处理系统含多个级别的吸附床，两套用来吸附，一套用来脱附，设备之间可以实现轮流操作。

3、脱附与催化燃烧

在活性炭吸附到饱和程度后，切换到脱附床。脱附需要外加热量，加热装置安装在催化氧化床的内部，开启后同时预热催化剂。催化氧化床达到设定的温度后，将热空气引入脱附床内部，有机废气在加热的作用下从活性炭表面全部解析出来。

高浓度的有机废气在外力的作用下进入氧化床中，通过金属铂的催化作用，被燃烧分解为水和二氧化碳，废气通过这一操作得到净化。这一燃烧过程的特征为低温、快速以及无焰，并产生较大的热量。我们可以将活性炭再次回用到有机废气的脱附与燃烧氧化中，从而降低能源消耗。

催化燃烧过程在有机废气浓度较大时，燃烧产生的热量过多会导致催化氧化床的温度较大，进而影响整个废气处理系统的安全性。